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磷化氢传感器
磷化氢是一种有臭味的无色、易燃气体,有剧毒,吸入磷化氢会对心脏、呼吸系统、肾、肠胃、神经系统和肝脏造成影响。磷化氢是IC制造的原料,也是半导体器件重要的N型掺杂源,同时,磷化氢还用于多晶硅化学气相沉淀、离子注入等工艺中。磷化氢作为高毒易燃气体,在与之有关的化工合成和半导体制造中,通常利用磷化氢传感器对其进行监测,以起到安全保护作用。
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名称
文件类型
语言
大小
PH3 3E 5 LT
产品数据手册
英语
1.23MB
磷化氢传感器系列产品
产品名称
量程
灵敏度
输出
分辨率
响应时间
城市技术Sensoric磷化氢气体传感器PH3 3E 5 LT
0~5ppm
2200±500nA/ppm
电流
<15ppb
<30s
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